而另一个难题是反射镜。

反射镜的作用是把模板上的电路图等比例缩小，在硅片上以电路图的形式呈现出来，这是制造芯片的关键元件。光刻机中所使用的反射镜，实际上是镀膜反射镜，在反射时会对光谱进行筛选，多次反射可以更好的净化光谱，得到符合要求的EUV。

而之所以反射镜会成为一个难题，则是因为光在多次的反射之下，因为镜面的精度问题，会对光源造成衰减，而想要得到符合要求的光源那就需要提高反射镜的精度！

一句话来感受一下EUV反射镜精度到底有多高？假设差不多半米直径的镜面是啤酒之国国土面积那么大，那么其局部的凹凸不能超过1mm。

这时刻工艺上的限制，罗浩想要攻克这个难题，就要创造出一种新方法来，一个是要制作出一种波长足够小的光，另外一个就是要找到创造一种工艺，制作出足够满足条件的反射镜。

罗浩看着面前的实验结果，嘿嘿一笑。

新的极紫光的制作方法已经创造出来了，波长只有10.5纳米！

这是罗浩从制作出新型金属之后就一直在研究的东西，接下来就是要攻破第二个反射镜的制作工艺的问题了。

“不过这个没有那么重要，反射镜这种东西，啤酒之国也有，而且工艺一直在国际上保持领先。”罗浩摸了摸下巴，“先研究研究，要是做不出来再说，不然实在影响我制作后面的光刻机的操作台。”

想了想，罗浩在实验室中的电脑上操作了一会儿，然后坐在实验室里静静等待。

很快，一批实验材料被送了过来，附带还送来了一块移动硬盘，里面装着的是反射镜制作的资料。