采用的是我们消化了那边(指日本)技术后,自己摸索出来的3微米工艺!”
“3微米?”林卫东虽然不是完全懂,但也知道这个数字意味着什么,绝对是世界先进水平之外的追赶,但却是从无到有的巨大飞跃!
“对!就是您带回来的那些硅晶圆和关键部件,立了大功了!”
老陈拿起那片硅片,像捧着绝世珍宝,“那些高纯度晶圆,让我们知道了什么叫‘底子好’,什么叫材料的极限。
那个光刻机部件,更是让我们的专家茅塞顿开!
以前很多想不明白的光路校准、精密控制问题,看了实物,反复测量分析,一下子就通了!
至少给我们节省了两三年的摸索时间!”
他越说越激动,语速都快了不少:“还有那些工艺手册的碎片资料,虽然不完整,但指明了方向!
咱们‘微光’小组的同志们,这大半年来,几乎是没日没夜地泡在新建成的那个净化车间里。
头发掉了不知道多少,眼睛熬得跟兔子似的,就是为了啃下这块硬骨头!”
老陈描述起那个位于某处偏僻山沟里的、代号“曙光”的集成电路实验生产线。
那里条件极其艰苦,空气净化要求极高,工作人员进去一次就要穿脱繁琐的防尘服,很多时候一待就是十几个小时。
最关键的光刻、蚀刻、掺杂工艺,更是难关重重。
“记得第一次尝试光刻,对准总是不行,做出来的电路全是短路的,废了一片又一片晶圆,心疼得老专家直跺脚。”
老陈感慨道,“后来就是靠着对您带回那个部件的反复研究和模仿改进,调整了光源和透镜组,才终于解决了套刻精度的问题。
还有那个化学气相沉积工艺,也是反复试验了上百次配方和参数……”
这个过程,充满了失败、沮丧,但也伴随着每一次微小突破时的狂喜。
一个个年轻的、不再年轻的研究员和技术工人,就在这反复的摸索和攻坚中,硬生生地将理论、图纸和那点宝贵的实物参考,变成了眼前这实实在在、能够工作的芯片。
“您看这个,”老陈又拿起那个黑色的小方块,接到一个早就准备好的、同样简陋的测试板上,接通电源,按下开关,测试板上的几个小灯按照预设的顺序亮了起来,稳定而准确。
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“这是一个简单的逻辑控制电路,虽然功能简单,但它证明了我们的整个工艺流程
——从设计、到制版、到光刻、蚀刻、封装测试——全部走通了!
而且良品率,正在稳步提升!”
林卫东看着那闪烁的小灯,听着老陈带着激动颤音的叙述,胸腔里仿佛有一股热流在涌动、冲撞。
他仿佛看到了那个戒备森严的日本晶圆厂,看到了自己如同幽灵般穿梭在洁净走廊里的身影,看到了那惊险的警报和撤离,看到了茫茫大海上那艘不起眼的渔船……